RTS-11型金屬四探針測試儀專用于測試低阻金屬材料電阻率及方塊電阻
RTS-11型金屬四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M
標準而設計的，專用于測試金屬材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了*新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于工廠、科研單位、高等院校對金屬材料的電阻性能測試。
RTS-11型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
RTS-11型金屬四探針測試儀
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測量范圍 |
電阻率：10-7～10-2 Ω.cm；
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可測晶片直徑 |
140mmX150mm(配S-2A型測試臺)； |
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恒流源 |
電流量程分為0.1A、1A、10A三檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
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數(shù)字電壓表 |
量程及表示形式：00.000～19.999mV； |
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四探針探頭基本指標 |
間距：1±0.01mm； |
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四探針探頭應用參數(shù) |
(見探頭附帶的合格證) |
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模擬電阻測量相對誤差(按JJG508-87進行) |
0.0001Ω、0.001Ω、0.01Ω≤0.5％±1字 |
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整機測量*大相對誤差 |
用標準電阻（0.0001Ω～0.01Ω）測試≤±3％ |
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整機測量標準不確定度 |
≤8％ |
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軟件功能（選配） |
軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)*大值、*小值、平均值、*大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 |
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計算機通訊接口 |
并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒 |
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標準使用環(huán)境 |
溫度：23±2℃； |