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ST-21L方塊電阻測(cè)試儀
ST-21L方塊電阻測(cè)試儀是一種依照類似的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn),專門(mén)測(cè)量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器,可用于測(cè)量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜),金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。
ST-21H方塊電阻測(cè)試儀以大規(guī)模集成電路為主要核心;用基準(zhǔn)電源和運(yùn)算放大器組成高精度穩(wěn)流源;帶回路有效正常指示電路;并配以大型LCD顯示讀數(shù),使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測(cè)量速度快、精度高的特點(diǎn)。
ST-21L方塊電阻測(cè)試儀特點(diǎn)
1、采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分,測(cè)量準(zhǔn)確穩(wěn)定,低功耗;
2、以大屏幕LCD顯示讀數(shù),直觀清晰;
3、采用單個(gè)電池供電,帶電池欠壓指示;
4、體積≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g;
5、特制之手握式探筆,球形探針、鍍金探針有效接觸被測(cè)材料及保護(hù)薄膜
6、探頭帶抗靜電模塊
ST-21L方塊電阻測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)
測(cè)量范圍
按方塊電阻量值大小分為二個(gè)量程檔:
1.方塊電阻 1.00~19.999Ω/□;
2.方塊電阻 10.0~199.99Ω/□;
*小分辨率:0.001Ω/□
恒流源: 測(cè)量過(guò)程誤差:≤±0.8%
模數(shù)轉(zhuǎn)換器:
量程:0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方式:LCD大屏幕顯示;極性,超量程均自動(dòng)顯示;小數(shù)點(diǎn)同步顯示;
測(cè)量不確定度:在整個(gè)量程范圍內(nèi),測(cè)量不確定度≤5%
四探針探頭規(guī)格:間距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;絕緣電阻≥500MΩ
電源:9V疊層電池1節(jié)
ST-21L方塊電阻測(cè)試儀可選配HP系列四探針探頭的型號(hào)及規(guī)格:
型號(hào)
(Model) |
曲率半徑
(Radius) |
壓力
(loads) |
探針間距
(spacing) |
探針排列
(Arrangement) |
HP-501
|
0.5mm
|
100g
|
3.8mm
|
直線
|
HP-502
|
0.75mm
|
100g
|
3.8mm
|
直線
|
HP-503
|
0.1mm
|
150g
|
1mm
|
直線
|
HP-504
|
0.5mm
|
100g
|
1.59mm
|
直線
|
ST-21L方塊電阻測(cè)試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號(hào)及規(guī)格
型號(hào) |
曲率半徑 |
壓力 |
探針間距 |
探針排列 |
SP-601 |
0.5mm |
100g |
1.59mm |
方形 |